XD-301系列大負載二維壓電偏轉鏡
XD-301 壓電偏轉鏡是專為大負載及高動態(tài)應用而設計,它的偏轉角度可達2.8mrad,可承載Φ110×10mm鏡片(約245g)。0.2mrad 偏轉角度的響應時間為2ms,±0.1mrad 偏轉角度下的使用頻率可達250Hz。
產品特點
• θx, θy 二維偏轉
• 大偏轉角度2.8mrad
• 亞毫秒響應時間
• 閉環(huán)定位精度高
• 溫度穩(wěn)定性高
產品應用
• 圖像處理/ 穩(wěn)定
• 隔行掃描,抖動
• 激光掃描/ 光束偏轉與穩(wěn)定
• 光學/掃描顯微
• 光過濾/ 開關
高可靠性及穩(wěn)定性
XD-301系統(tǒng)內部裝配帶有預緊力的高可靠性壓電促動器,被集成在成熟的、經過FEA 建模分析的鉸鏈導向系統(tǒng)。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷,可提供更好的穩(wěn)定性及可靠性。
先進的鉸鏈/ 杠桿設計將慣性小化,具有非常快的響應速度,在毫秒級范圍。
XD-301還提供了亞微弧度的分辨率。內部集成高分辨率、全橋的應變傳感器(SGS)實現(xiàn)了的位置控制,具有優(yōu)異的重復定位精度。
閉環(huán)定位精度
線性度為0.2%F.S.,重復度為0.1%F.S.。
閉環(huán)重復度
閉環(huán)重復度
開環(huán)曲線
開閉環(huán)曲線
閉環(huán)分辨率
閉環(huán)分辨率
技術參數(shù)
技術參數(shù)