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N12 系列壓電掃描臺為 1~3 維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心方形通孔，內(nèi)部采用無摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化結(jié)構(gòu)，具有超高的導(dǎo)向精度、高剛性、大負(fù)載、無磨損等特點(diǎn)，平臺內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實(shí)現(xiàn)滿行程 0.04% 的重復(fù)定位精度。

特點(diǎn)

• 位移 110μm • 承載能力 0.7kg • 臺體中心方形通孔 45×45mm • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 開 / 閉環(huán)可選

1~3維掃描臺

    N12系列壓電掃描臺包含X、Z、XY、XZ、XYZ五種規(guī)格型號,外觀相同。

典型應(yīng)用 

• 掃描顯微 • 共焦顯微 • 晶圓定位

• 表面測量 • 圖像處理與穩(wěn)定 • 半導(dǎo)體測試

小體積、大位移、中心通孔

N12 系列納米定位臺體積非常小巧，位移可達(dá) 110μm。*的平行運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)原理，使得平臺可以實(shí)現(xiàn) XYZ 軸高速精密運(yùn)動(dòng)。這款產(chǎn)品的應(yīng)用非常廣泛，從光學(xué)研究到工業(yè)化OEM系統(tǒng)等。

該系列壓電掃描臺的通光孔為 45×45mm，高剛度。

閉環(huán)傳感定位精度高

N12 系列壓電掃描臺配置高分辨率傳感器，對位置實(shí)時(shí)檢測并反饋到壓電控制器，控制器通過 PID 算法調(diào)整電壓修正位移，從而實(shí)現(xiàn)高精度定位。

N12.XYZ 壓電掃描臺配套芯明天 E72 系列模塊化控制器應(yīng)用于光學(xué)顯微成像，實(shí)現(xiàn)XYZ 軸精密掃描。

閉環(huán)定位精度

N12.XYZ100S 線性度與重復(fù)度實(shí)測曲線

頻率負(fù)載曲線

開 / 閉環(huán)曲線

技術(shù)參數(shù) 

型號：N12.XYZ100S

運(yùn)動(dòng)自由度：X、Y、Z

行程范圍（0~120V）：80μm/ 軸

行程范圍（-20~150V）：110μm/ 軸

傳感器類型：SGS

通孔尺寸：45×45mm

閉/開環(huán)分辨率：7nm

閉環(huán)線性度：0.15%F.S

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.1%F.S

俯仰/偏航 / 滾動(dòng)：<20μrad

推/拉力：20N

運(yùn)動(dòng)方向剛度：X0.3/Y0.25/Z0.2N/μm

空載諧振頻率：X200Hz/Y150Hz/Z120Hz

閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間：30ms/0.8ms

承載：0.5kg

靜電容量：1.8μF

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：350g