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*，壓電促動器是基于壓電材料制作而成的具有促動功能的壓電執(zhí)行器件。它利用的是壓電元件的逆壓電效應，在不同電壓的驅(qū)使下，它可產(chǎn)生不同的位移量。對于壓電元件本身或直驅(qū)機構的壓電促動器，伸長量一般為1‰至2‰；而對于放大機構設計，就與柔性機構的放大倍數(shù)相關。

 壓電促動器的特點： 

·納米級高分辨率

·毫秒至亞毫秒的快速響應

·行程范圍可達1mm

·大出力，可高達50000N

·外形小巧，結構緊湊

·壽命可達十億次

 壓電促動器的應用： 

基于壓電促動器的特點，在光學、力學、半導體、加工、生物醫(yī)療、顯微成像等各領域得到廣泛應用。應用場景非常多樣，如快速響應及大出力特點，非常適用于主動減振/抑振等；高分辨率特點又使其非常適用于光學干涉移相、三維形貌測量等；小體積及快速定位特點適用于激光腔調(diào)諧等。

 壓電促動器的三種類型： 

先簡單介紹三種壓電促動器，它們分別為壓電執(zhí)行元件、直驅(qū)機構壓電促動器與放大機構壓電促動器。

 一、壓電執(zhí)行元件-無機械結構 

壓電執(zhí)行元件是外部未裝配機械結構的壓電陶瓷，是壓電原材料經(jīng)過混合、煅燒、研磨、再混合、流延、構建、層壓、切割、燒結、加工、處理、極化等生產(chǎn)過程而制成的壓電元件，極化后的壓電元件具有壓電效應。

壓電執(zhí)行元件的外形尺寸一般很小，厚度可小至1mm，對于較大壓電執(zhí)行元件，一般長寬上限為25mm、外徑為35mm，非常適于小應用空間的應用，如焊線機線夾、移相、精密定位等。

 二、直驅(qū)壓電促動器 

直驅(qū)壓電促動器是具有機械結構的壓電執(zhí)行器，它的結構采用直接驅(qū)動的方式，以約1：1的比例將壓電元件本身的位移、出力等進行輸出。不僅不會改變壓電元件的優(yōu)勢特點，還會顯著提高壓電元件的動態(tài)性，并為其增加了一層強有力的保護。

另外，它也增加了機械接口，使安裝更便捷，可選擇平頭、球頭、內(nèi)螺紋、外螺紋等多種形式，也可定制。

直驅(qū)壓電促動器適用于多種應用，如減振抑振、諧振器、移相器等。

 三、機構放大壓電促動器 

機構放大壓電促動器也是具有機械結構的壓電執(zhí)行器，但結構形式不同，它采用的是柔性放大機構，將壓電元件本身產(chǎn)生的位移進行放大輸出，可放大達十倍，甚至更高，取決機械結構的設計。

機構放大壓電促動器的位移可達毫米量級，但它的出力會相應減少，非常適合靜態(tài)、大位移應用，如材料摩擦系數(shù)的測量等。