芯明天壓電掃描臺應(yīng)用于紅外熱成像掃描
紅外熱成像掃描技術(shù)是利用探測器、光學(xué)成像物鏡和掃描系統(tǒng)接受被測目標(biāo)的紅外輻射能量分布圖形反映到紅外探測器的光敏元上,在光學(xué)系統(tǒng)和紅外探測器之間,掃描機(jī)構(gòu)對被測物體的紅外熱像進(jìn)行掃描,并聚焦在單元或分光探測器上,由探測器將紅外輻射能轉(zhuǎn)換成電信號,經(jīng)放大處理、轉(zhuǎn)換或標(biāo)準(zhǔn)視頻信號通過電視屏或監(jiān)測器顯示紅外熱像圖。
芯明天N62壓電掃描臺以其高頻率、高分辨率等特點(diǎn)應(yīng)用于紅外熱像儀中,大大提高了熱像儀成像的分辨率。
平臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,中心通孔孔徑為26mm,可以實(shí)現(xiàn)XY軸±10μm的位移行程,產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成與安裝到設(shè)備中。
高精度
N62系列壓電掃描臺內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,分辨率可以達(dá)到0.5nm,滿行程重復(fù)定位精度達(dá)納米級。
動(dòng)態(tài)性能
N62.XY20K帶載10g負(fù)載在500Hz頻率下位移曲線。
技術(shù)參數(shù)
型號:N62
運(yùn)動(dòng)自由度:X、Y
行程范圍@120V:±8μm
行程范圍@150V:±10μm
傳感器類型:SGS
通孔尺寸:φ26mm
閉/ 開環(huán)分辨率:1/0.5nm
閉環(huán)線性度:0.3%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.1%F.S.
俯仰/ 偏航/ 滾動(dòng):<10μrad
推/ 拉力:44/44N
運(yùn)動(dòng)方向剛度:X2.2/Y2.2N/μm
空載諧振頻率:X2/Y2kHz
閉/ 開環(huán)空載階躍時(shí)間:1.5/0.7ms
承載能力:1kg
靜電容量:1.6μF/軸
材質(zhì):鋼、鋁
重量:180g
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