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壓電位移臺簡介!

更新時間: 2020-04-20

以P11型號為例,簡介壓電位移臺。

P11系列壓電位移臺包含多種型號,1至3維運動版本可選,行程由100μm至300μm可選。從外觀上,P11系列具有兩種外形,兩種外形的長寬相同,都為40×40mm,只因行程大小不同或維度不同,相應(yīng)的外形的高度有所差別,分22mm和36.5mm兩種。

P11系列壓電位移臺的單軸運動版本,行程可高達300μm,二維或三維版本標準行程為100μm/軸。它是采用機構(gòu)放大的原理,將內(nèi)部壓電陶瓷驅(qū)動源產(chǎn)生的位移進行放大輸出,位移放大后,承載能力相應(yīng)減小,但P11三維版本的承載能力仍可達600g。

開/閉環(huán)版本

P11系列壓電位移臺也分為開環(huán)與閉環(huán)版本,相比之下,閉環(huán)版本內(nèi)部增配了閉環(huán)傳感器,用于檢測位移臺本身實際產(chǎn)生的位移量。從位移臺的引線連接器上可區(qū)分出開閉環(huán)。例如,對于標準的壓電位移臺,一般配備的是LEMO連接器,若位移臺的連接器具有兩種,如下圖所示,具有單芯和四芯兩種LEMO連接器,那么該壓電位移臺為閉環(huán)版本,若只有一種單芯LEMO連接器,則為開環(huán)版本。

此外,也可以根據(jù)單芯LEMO連接器的數(shù)量判斷壓電位移臺的運動維度,1個為1個維度運動,2個為2個運動維度,依次類推。

以上該方法僅適用于LEMO連接器形式壓電位移臺開閉環(huán)的辨別方法。

安裝固定

為了便于負載的機械連接,在P11的運動臺面上設(shè)計有四個M3螺紋孔,為使用者提供固定接口。

另外,在P11系列壓電位移臺的四個邊角,有四個Ø2.7mm的通孔,用于壓電位移臺的固定。

在安裝使用中,務(wù)必保證壓電位移臺運動面與非運動基座間的間隙清潔,且不可在此間隙間放置任何阻礙位移臺運動的薄片、膠液等,這些會導(dǎo)致壓電位移臺的位移量減少或不輸出。

應(yīng)用

壓電位移臺的特點是納米級高分辨率及精度、毫秒至亞毫秒級快響應(yīng)速度、簡便的控制方式、低成本等,因此具有非常廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,如顯微成像、激光加工(晶圓切割)、微納車削加工、圖像分辨率增強、光學(xué)檢測移相器等快速微納致動應(yīng)用。

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