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N50.U系列為一維θx軸偏擺的壓電偏擺臺，它的承載能力可達(dá)60kg，偏轉(zhuǎn)角度為±0.25mrad。它采用電容式閉環(huán)傳感器，分辨率可達(dá)10nrad，并可在20kg載荷下高頻率工作。它非常適于大負(fù)載偏擺運(yùn)動(dòng)實(shí)驗(yàn)，如空間擾動(dòng)模擬等。

特點(diǎn)

一維θx軸偏擺   

承載高達(dá)60kg

偏擺角度0.5mrad@150V

±0.01mrad下使用頻率達(dá)210Hz

典型應(yīng)用

光束掃描

大負(fù)載偏擺運(yùn)動(dòng)

干涉/計(jì)量

空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng)、

閉環(huán)電壓與位移曲線

注：施加至壓電陶瓷的電壓為驅(qū)動(dòng)控制電壓的12倍。

20ms階躍曲線

使用頻率與振幅曲線(20kg負(fù)載下)

技術(shù)參數(shù)

型號：N50.U0C

運(yùn)動(dòng)自由度：θx

標(biāo)稱偏擺角：0.4mrad(≈80秒)@120V

偏擺角：0.5mrad(≈100 秒)@150V

傳感器類型：CAP

閉/開環(huán)分辨率：0.02/0.01μrad(＜0.01秒)

閉環(huán)線性度：0.3%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.3%F.S.

空載諧振頻率：750Hz

閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間：30/15ms

承載能力：60kg

靜電容量：30μF

材質(zhì)：鋁、鋼