超精密加工中的FTS快速刀具伺服系統(tǒng)
精密、超精密加工技術(shù)在我國的應(yīng)用已不再局限于航空航天或其他應(yīng)用等少數(shù)部門,它已擴(kuò)展到日常生活與應(yīng)用中的許多領(lǐng)域,應(yīng)用規(guī)模也有很大的增長。超精密加工是實現(xiàn)納米加工的有效方式,其中壓電快速刀具伺服系統(tǒng)是超精密加工中的核心器件,快速刀具定位臺帶動車刀或其他刀具微納米級進(jìn)給,在工件表面進(jìn)行加工。此外也可加工各種回轉(zhuǎn)表面,如內(nèi)圓柱面、內(nèi)外圓錐面,螺紋、溝槽、端面和成型面等。
芯明天快速刀具定位臺是為超精密加工而研發(fā)設(shè)計的,利用自身所具有的高響應(yīng)頻率、高剛度、高精度等特性,驅(qū)動刀具在運(yùn)動方向快速實現(xiàn)滿行程118微米微進(jìn)給,能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜面形工件或結(jié)構(gòu)的精密加工,特別是適合刀具微進(jìn)給、誤差補(bǔ)償、FTS微位移工作臺等應(yīng)用。
技術(shù)參數(shù)
型號:P93.X100
行程范圍(0~120V):95μm
行程范圍(0~150V):118μm
傳感器:CAP/
閉/開環(huán)分辨率:15/20/10nm
閉環(huán)線性度:0.1/0.15%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.03/0.05%F.S.
俯仰/偏航/滾動:<20μrad
推/拉力: 300/25N
運(yùn)動方向剛度:3N/μm
空載諧振頻率:0.2kHz
閉/開環(huán)空載階躍時間:30/7ms
承載能力:20kg
靜電容量:15μF
材質(zhì):鋼
重量:3500g
驅(qū)動控制
E01.D1系列壓電控制器具有輸出高功率、高電流等特點,非常適于驅(qū)動電容較大的快速刀具定位臺。
哈爾濱芯明天科技有限公司(tastehan.cn)主營:壓電促動器,壓電移相器,壓電快反鏡,快速刀具定位器
哈爾濱芯明天科技有限公司 版權(quán)所有 ICP備案號:黑ICP備16009173號-2 管理登陸 技術(shù)支持:儀表網(wǎng) 網(wǎng)站地圖