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三維壓電掃描臺用于顯微鏡探針校準

更新時間: 2020-08-17

顯微鏡中的探針校準通常需要一個中心通孔(用于光線通過)。 P15系列三維壓電掃描臺具有66×66mm的自由中心孔,非常適合透射光等此類相關應用。運動行程為300μm/軸,具有高的直線度,平臺內部采用有限元分析(FEA)優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結構,使其具有更高的剛度和直線度??蛇x擇集成的閉環(huán)反饋傳感器保證納米精度的長期高精度樣品調整。

P15系列壓電掃描臺還可以輕松與其他機械定位系統(tǒng)結合使用。它們適合從光學研究到OEM系統(tǒng)的各種應用。

特點

XYZ三維直線運動

•通孔尺寸66×66mm

設計緊湊

固態(tài)鉸鏈確保高可靠性

納米級/亞納米級高分辨率

•行程范圍300μm/軸

•可選配閉環(huán)傳感器

階躍時間

閉環(huán)上升曲線,滿行程階躍時間60ms。

技術參數(shù)

型號P15.XYZ300

運動自由度XYZ

行程范圍(0~120V)240μm/軸

行程范圍(0~150V)300μm/軸

閉環(huán)傳感器SGS

通孔尺寸66×66mm

閉/開環(huán)分辨率13/6 nm

閉環(huán)線性度0.2%F.S.

閉環(huán)重復定位精度0.1%F.S.

俯仰/偏航/滾動<30μrad

推/拉力50/10N

運動方向剛度0.1N/μm

空載諧振頻率X/Y/Z):450/550/120Hz

閉/開環(huán)空載階躍時間60/10ms

承載能力0.5kg

靜電容量10.8μF/軸

材質

重量900g

線長:1.5m

 

應用案例:

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