三維壓電掃描臺用于顯微鏡探針校準
P15系列壓電掃描臺還可以輕松與其他機械定位系統(tǒng)結合使用。它們適合從光學研究到OEM系統(tǒng)的各種應用。
特點
•XYZ三維直線運動
•通孔尺寸66×66mm
•設計緊湊
•固態(tài)鉸鏈確保高可靠性
•納米級/亞納米級高分辨率
•行程范圍300μm/軸
•可選配閉環(huán)傳感器
階躍時間
閉環(huán)上升曲線,滿行程階躍時間60ms。
技術參數(shù)
型號:P15.XYZ300
運動自由度:XYZ
行程范圍(0~120V):240μm/軸
行程范圍(0~150V):300μm/軸
閉環(huán)傳感器:SGS
通孔尺寸:66×66mm
閉/開環(huán)分辨率:13/6 nm
閉環(huán)線性度:0.2%F.S.
閉環(huán)重復定位精度:0.1%F.S.
俯仰/偏航/滾動:<30μrad
推/拉力:50/10N
運動方向剛度:0.1N/μm
空載諧振頻率(X/Y/Z):450/550/120Hz
閉/開環(huán)空載階躍時間:60/10ms
承載能力:0.5kg
靜電容量:10.8μF/軸
材質:鋁
重量:900g
線長:1.5m
應用案例:
哈爾濱芯明天科技有限公司(tastehan.cn)主營:壓電促動器,壓電移相器,壓電快反鏡,快速刀具定位器
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