微納操作系統(tǒng)中的微動壓電鉗
作為微納操作系統(tǒng)中的一個末端執(zhí)行機(jī)構(gòu),微動夾鉗主要完成微小尺寸樣品的夾取、搬運(yùn)、放置與釋放。壓電鉗通過傳動機(jī)構(gòu),將電壓轉(zhuǎn)化為鉗口的位移輸出,通過鉗口閉合實(shí)現(xiàn)微操作對象的夾持,張開實(shí)現(xiàn)微操作對象的釋放。
芯明天研發(fā)生產(chǎn)的微動壓電鉗是由壓電陶瓷疊堆驅(qū)動,采用柔性鉸鏈機(jī)械放大結(jié)構(gòu),具有分辨率高、響應(yīng)速度快、無摩擦等特點(diǎn)。夾持位移可達(dá)100微米,是微納操作系統(tǒng)中*的執(zhí)行器件。
特點(diǎn)
• 夾持位移達(dá)100μm
• 亞毫秒級響應(yīng)時(shí)間
• 諧振頻率達(dá)1.5kHz
技術(shù)參數(shù)
型號:XD002-D2
運(yùn)動自由度:X
行程范圍(0~120V):80μm
行程范圍(0~150V):100μm
推/拉力:10/1N
運(yùn)動方向剛度:0.04N/μm
空載諧振頻率:1500Hz
空載階躍時(shí)間:0.7ms
空載滿行程工作頻率:300Hz
大承載:0.05kg
靜電容量:0.18μF
材質(zhì):不銹鋼
重量:10g
驅(qū)動控制
E53.A壓電控制器非常適合驅(qū)動XD-002系列微動壓電鉗,即可保證快速的響應(yīng)時(shí)間,又可保證壓電鉗的工作穩(wěn)定性。同時(shí)E53系列壓電控制器的外形非常緊湊,體積小巧,易于集成。
定制版壓電鉗
夾持行程:500μm@150V
靜電容量:1.6μF
空載諧振頻率:180Hz
材質(zhì):鈦合金
夾持行程:1000μm@150V
靜電容量:3.4μF
空載諧振頻率:110Hz
材質(zhì):鈦合金
夾持行程:1000μm@150V
靜電容量:3.6μF
空載諧振頻率:90Hz
重復(fù)定位精度:0.5%F.S.
位移傳感器:有
材質(zhì):鈦合金
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