一維Z向小體積直線壓電平臺
壓電定位臺的控制精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級,壓電定位臺為無磁材質(zhì),使用過程中不受磁場的影響,壓電定位臺體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。
特點(diǎn)
• 一維Z向運(yùn)動
• 位移可達(dá)100μm
• 體積小巧
• 毫秒級響應(yīng)時間
• 真空版本可選
閉環(huán)版本定位精度高 響應(yīng)速度快
P11.Z100壓電納米定位臺可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本,閉環(huán)版本采用高精度傳感器對位置進(jìn)行實(shí)時檢測反饋,配置芯明天E00/E01、E52/E53等系列閉環(huán)壓電控制器可實(shí)時對位移進(jìn)行精密調(diào)整,實(shí)現(xiàn)納米級的精密定位控制。
P11.Z100系列壓電納米定位臺的響應(yīng)速度快,配套E52系列壓電控制器可實(shí)現(xiàn)0.8ms的階躍時間。
宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)
P11.Z100配套宏動機(jī)構(gòu),可組成毫米級行程,納米級分辨率的宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)平臺。
技術(shù)參數(shù)
型號:P11.Z100
運(yùn)動自由度:Z
行程范圍(0~120V):80μm
行程范圍(0~150V):100μm
閉環(huán)傳感器類型:SGS
閉/開環(huán)分辨:7/4nm
閉環(huán)線性度:0.05%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.02%F.S.
俯仰/偏航/滾動:<10μrad
推/拉力:30/10N
運(yùn)動方向剛度:0.3N/μm
空載諧振頻率:0.3kHz
閉/開環(huán)空載階躍時間:10/0.8ms
承載能力:0.8kg
靜電容量:1.8μF
材質(zhì):鋼、鋁
重量:100g
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