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一維Z向小體積直線壓電平臺

更新時間: 2021-04-25

P11.Z100為小體積一維Z向壓電平移臺,平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實(shí)現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有高的導(dǎo)向精度,具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。

壓電定位臺控制精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級,壓電定位臺為無磁材質(zhì),使用過程中不受磁場的影響,壓電定位臺體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。

 

特點(diǎn)

 一維Z向運(yùn)動

 位移可達(dá)100μm

 體積小巧

 毫秒級響應(yīng)時間

 真空版本可選

 

閉環(huán)版本定位精度高 響應(yīng)速度快

P11.Z100壓電納米定位臺可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本,閉環(huán)版本采用高精度傳感器對位置進(jìn)行實(shí)時檢測反饋,配置芯明天E00/E01、E52/E53等系列閉環(huán)壓電控制器可實(shí)時對位移進(jìn)行精密調(diào)整,實(shí)現(xiàn)納米級的精密定位控制。

P11.Z100系列壓電納米定位臺的響應(yīng)速度快,配套E52系列壓電控制器可實(shí)現(xiàn)0.8ms的階躍時間。

宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)

P11.Z100配套宏動機(jī)構(gòu),可組成毫米級行程,納米級分辨率的宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)平臺。

技術(shù)參數(shù)

型號P11.Z100

運(yùn)動自由度Z

行程范圍(0~120V)80μm

行程范圍(0~150V)100μm

閉環(huán)傳感器類型SGS

/開環(huán)分辨7/4nm

閉環(huán)線性度0.05%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度0.02%F.S.

俯仰/偏航/滾動<10μrad

/拉力30/10N

運(yùn)動方向剛度0.3N/μm

空載諧振頻率0.3kHz

/開環(huán)空載階躍時間10/0.8ms

承載能力0.8kg

靜電容量1.8μF

材質(zhì)鋼、鋁

重量100g

全國統(tǒng)一客服電話:

17051647888

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