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XY 二維精密壓電顯微掃描臺

更新時間: 2021-06-19

P15.XY100S/K65-B1為二維XY向運動壓電平臺,具有超薄的外形,可進行每軸100μm范圍內(nèi)的納米級位置調(diào)整,P15.XY100S/K65-B1對于納米范圍的對準、納米聚焦、測量等應用是非常理想的。可選配橋式配置的閉環(huán)傳感器,消除溫度漂移,保證了納米范圍的定位穩(wěn)定性。同時,通過FEA優(yōu)化了直線度與平面度結構更緊湊、響應速度更快。

 

特點

• 二維XY向運動

• 行程達100μm/軸

• 承載力達500g

• 超薄尺寸

• 可安裝真空吸盤

 

典型應用

• 表面檢測

• 顯微成像

• 激光技術

• 半導體加工與測試

 

大通孔 快速聚焦

P15.XY100S/K65-B1壓電顯微掃描臺,大通孔設計主要是為了滿足各種樣品夾持結構,如真空吸盤

壓電陶瓷驅(qū)動具有的響應速度,大大提高了成像捕獲能力。對于有定位精度及穩(wěn)定性需求的應用,可以選擇配置SGS閉環(huán)傳感器,提供高分辨率、快速響應的傳感電壓信號給壓電控制器。全橋設計避免了溫度的漂移,確保了納米級定位精度。

 

表面絕緣壓電陶瓷提供長使用壽命

壓電掃描臺采用高一致性、高穩(wěn)定性的表面絕緣壓電陶瓷,陶瓷抵抗外部環(huán)境的能力高且無漏電現(xiàn)象。

 

電壓位移曲線

 

線性度曲線

 

技術參數(shù)

型號P15.XY100S/K65-B1

運動自由度XY

行程范圍(0~120V)80μm/軸

行程范圍(0~150V)100μm/軸

閉環(huán)傳感器SGS

通孔尺寸:55×65mm

/開環(huán)分辨率10/5nm

閉環(huán)線性度0.15%F.S.

閉環(huán)重復定位精度0.05%F.S.

俯仰/滾動/偏航≤10μrad

空載諧振頻率490Hz

/開環(huán)空載階躍時間50/20ms

承載能力500g

靜電容量14.5μF

臺體材料

電纜長度1.5m

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