壓電促動器內部集成高可靠性壓電陶瓷,可實現納米級分辨率,位移行程可達260微米,微秒級響應時間,外部由柱形不銹鋼外殼保護。較高的內部機械預載力可適用于高負載、高動態(tài)應用。出力達50000N,使壓電促動器非常適于腔調諧、主動振動、減震抑震或自適應力學。同時,小體積、高諧振頻率等特點又使其非常適于掃描顯微、光束偏轉、精密加工或顯微光刻等應用。
壓電促動器應用領域:
超導腔調諧
通過諧振器在軸向拉伸超導腔,改變加速間隙的大小,控制超導腔的頻率。通過機械調諧進行頻率的粗調后,當超導腔的頻率接近所需要的頻率時,通過壓電陶瓷促動器對頻率進行微調。利用的是壓電陶瓷促動器的大出力、微位移的特性。
微細電火花加工
采用微細電火花加工微小孔過程中會產生很多碎屑,這會嚴重影響電火花加工的精準度及加工速度。設備中采用壓電促動器,利用其微納米級位移,高頻振動,大出力等特性將加工產生的碎屑進行有效的清除,起到優(yōu)異的導屑作用。
減震抑震
震動是很多機械系統(tǒng)中需要避免或消除的,如航空航天、汽車行業(yè)等。在震動監(jiān)測系統(tǒng)中監(jiān)測到震動時,通過給壓電促動器施加電信號,使壓電促動器隨之產生與震動方向相反的位移,從而抵消震動。