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H32.TR4S系列三軸角度運(yùn)動(dòng)高精度壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)

更新時(shí)間: 2024-11-07

H32.TR4S系列壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)其內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)θx、θy偏擺及θz旋轉(zhuǎn)三維運(yùn)動(dòng)。它具有響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高負(fù)載大等特點(diǎn)。因其優(yōu)異的性能,可在模擬振動(dòng)環(huán)境中作為模擬振動(dòng)臺(tái),完成高精度、快速的微振動(dòng)控制,從而滿足用戶對(duì)精密裝備控制精度測試分析,以驗(yàn)證和提高精密儀器與裝備的性能。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

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產(chǎn)品特點(diǎn)

θx、θy偏擺及θz旋轉(zhuǎn)

θx、θy偏擺角度可達(dá)4.6mrad/軸

θz旋轉(zhuǎn)角度可達(dá)3.2mrad

分辨率可達(dá)0.05μrad

承載可達(dá)1kg

閉環(huán)版本定位精度高

亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

產(chǎn)品應(yīng)用

振動(dòng)試驗(yàn)

空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng)

干涉/計(jì)量

大負(fù)載運(yùn)動(dòng)試驗(yàn)

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

H32.TR4S/K

運(yùn)動(dòng)自由度

θx、θy、θz

驅(qū)動(dòng)控制

4路驅(qū)動(dòng),3路傳感/4路驅(qū)動(dòng)

標(biāo)稱偏擺角度(0~120V)

θxθy: 3.7mrad

θz: 2.6mrad

Max.偏擺角度(0~150V)

θxθy: 4.6mrad

θz: 3.2mrad

傳感器類型

SGS/-

分辨率

θxθy: 0.15/0.07μrad

θz: 0.1/0.05μrad

閉環(huán)線性度

可達(dá)0.03%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

可達(dá)0.02%F.S.

空載諧振頻率

θxθy: 250Hz

θz: 560Hz

帶載諧振頻率@1kg

θxθy: 140Hz

θz: 200Hz

靜電容量

θxθy: 14.4μF

θz: 10.8μF

階躍時(shí)間

30ms@1kg/10ms

承載能力

水平安裝

1kg

立式安裝

0.5kg

倒置安裝

0.5kg

材質(zhì)

不銹鋼、鋁合金

重量(不含線)

2240g

配套控制器

E70.D4系列壓電控制器非常適用于驅(qū)動(dòng)H32.TR4S系列壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)。它是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的四通道壓電控制器。采用DC24V供電,輸出電壓為0~120V或0~150V,開閉環(huán)可選,模擬及數(shù)字控制,可通過串口、USB或網(wǎng)口進(jìn)行數(shù)字通信,且體積小,非常易于集成。

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