P78.Z100Sk 壓電納米定位臺
P78.Z100Sk 壓電納米定位臺是一維Z向運動的納米定位臺,它的行程可達200μm,中心具有φ25mm通孔,適用于透射光應(yīng)用。
產(chǎn)品特點
Z向運動,行程達200μm
可正向、臥式或倒置使用
可定制真空版本
產(chǎn)品應(yīng)用
表面檢測
顯微成像統(tǒng)結(jié)構(gòu)搭建
干涉
半導(dǎo)體加工與測試
真空環(huán)境
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